Spektrální rozsah od FUV do NIR: 190-2100 nm

UVISEL PlusElliptický polarizační spektrometrPoskytuje optimalizovanou kombinaci modulárnosti a výkonu pro charakterizaci filmů, povrchů a rozhraní.

UVISEL Plus jako jedenKlasické eliptické stroje s přesností, citlivostí a stabilitouVyužívá technologii fázové modulace PEM, která nabízí lepší stabilitu a poměr signálu a hluku ve srovnání s technologií mechanických otáčecích součástí.Spectrumální rozsah od 190nm do 2100nm.

UVISEL Plus integruje nový FastAcqTMrychlé sběrové technologie,Testování vzorků s vysokým rozlišením (190-2100 nm) během 3 minutKalibrace trvá jen pár minut. Na základě nových elektronických zařízení, zpracování dat a vysokorychlostního monometru umožňuje technologie FastAcq uživatelům vysoké rozlišení a rychlý sběr dat. FastAcq je navržen pro charakterizaci tenkých filmů,Technologie dvojí modulaceMůžete zajistit, že získáte vynikající výsledky testů.

Technologie fázové modulace se vyznačuje vysokofrekvenční modulací 50 kHz bez pohyblivých součástí při sběru signálu:

• Testujte celý rozsah eliptických úhlů, Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• Vynikající poměr signálu a hluku od FUV k NIR
• Rychlý sběr dat až 50 ms/bod je ideální pro výzkum dynamiky a online měření.

Ve srovnání s přijetímTradiční elipský polarizační spektrometr pro modulaci rotačních prvků， Režim fázové modulace pro UVISEL PlusVyšší citlivost a přesnost při charakterizaci filmůNejen, že detekuje extrémně tenké filmy nebo rozhraní, které nejsou pozorovatelné jinými elipsometry, ale také charakterizuje filmy o tloušťce 50 µm.

Zpětná reflexe při testu.Při průhledném vzorku je testování jednoduché a přesné.Není třeba škrábat zadní stranu.

UVISEL Plus je navržen také s řadou příslušenství a volitelných funkcí, které umožňují zákazníkům vybrat správnou konfiguraci podle potřeb aplikace a rozpočtu. Například se mikroskopické škvrny používají pro vzorky vzorů, automatické úhlové měniče, automatické vzorkové stoly atd.

UVISEL Plus má modulární design, který umožňuje flexibilní rozšiřování. Lze použít offlineStolní měřeníLze také spojit s povlakovým zařízením pro on-line monitorování.

UVISEL Plus může vybrat ovládací rozhraní podle zvyku.DeltaPsi2funkce modelování a přizpůsobení; Dalším je uživatelsky orientované plně automatické rozhraní pro testování vzorků Auto-Soft, které umožňuje intuitivní pracovní postup a snadné ovládání pro neprofesionály.

UVISEL Plus s technologií FastAcq je vhodný pro výzkum a zpracování materiálů, ploché displeje, mikroelektroniku a fotovoltaikuUniverzální spektrální elipsometr.

UVISEL PlusIdeální nástroj pro výzkum materiálů.