Inteligentní průtokoměr hmotnosti Malý objemový průtokoměr hmotnostního průtokoměru teplého plynu
Použití a vlastnosti
Řidič hmotnostního toku (MFC) je určen k přesnému měření a řízení hmotnostního toku plynu. Mají důležitou roli ve výzkumu a výrobě v průmyslu polovodičů a integrovaných obvodů, oboru speciálních materiálů, chemickém průmyslu, průmyslu, medicíně a vakuových lampách. Typické aplikace zahrnují: elektronické procesní zařízení, jako je difuze, rozšíření, CVD、 Oxidace, plazmatická koroze, postřikování, iontové injekce; a nátěrová zařízení, optická tavení vláken, mikroreakční zařízení, systémy pro rozdělování plynu, měření kapilářů, plynový chromatometr a další analytické přístroje.
Hlavní technické ukazatele
Rozsah měření (20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10)SLM
Přesnost +1,5% F.S.
Lineární +0,5 ~ 1,5% F.S.
Přesnost opakování +0,2% F.S.
Odpovědná doba 10sec Vlastnosti plynu: (1 ~ 4) sec
Pracovní tlak 0,1 ~ 0,5 MPa
Tlaková odolnost 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Teplota pracovního prostředí 0 ~ 70 ℃
Digitální množství RS485 MODBUS protokol
Analogové DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA volitelné
Elektrické vlastnosti: SLM
Napájení DC +15V/24V volitelné, průtokoměr <50mA, regulátor <200mA
Elektrické připojení DB15
1×10 SCCSHe
Materiál podkladu 316L nerezová ocel
Těsnění Fluorová guma, butan, neopren
Vzduchové spojky Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Poznámka: hmotnostní průtokoměry a regulátory hmotnostního průtoku jsou obvykle kalibrovány továrně dusíkem (N₂).
Jednotka hmotnostního průtoku je stanovena jako: SCCM (standardní ml/min); SLM (standardní litr/min)
Inteligentní průtokoměr hmotnosti Malý objemový průtokoměr hmotnostního průtokoměru teplého plynu